日立ハイテク： SEM-EDXによる無機異物の同定（エネルギー値から自動で同定）

製品や試料に入り込んだ異物、付着物、不純物が何者かを突き止めてもらう受託です。元素分析が「何の元素がどれだけ入っているか」を測るのに対し、こちらは「この粒は何者か」「どこから来たか」を答えます。手法は重なりますが、問いが違います。いちばん大事なのは、異物が有機物か無機物かです。有機物（樹脂・繊維・ゴム・タンパク質）なら顕微FT-IR、ラマン、熱分解GC-MS。無機物（金属・鉱物）ならSEM-EDX、EPMA、XRF、XRD。SEM-EDXしか持たないところに有機異物を持ち込んでも、炭素と酸素です以上のことは分かりません。2つめはどこまで小さいものを見られるかで、顕微FT-IRで10 µmから、熱分解GC-MSで0.1 mgから、というように下限が数字で出ている会社とそうでない会社があります。3つめは原因の推定までやってくれるかで、何かが分かっても、どこから来たかが分からないと工程は直せません。4つめは納期で、トラブル対応では決定的になることがあります。5つめは規格で、自動車部品などではISO16232やVDA19に沿った清浄度評価が要ります。