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異物・不純物分析 1件
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SEMとEDXの組み合わせで、金属など無機系の異物を同定する。エネルギー値から異物の同定が自動的にできるのが特徴。装置はSU3500、Reglus8230、SU3800、SU3900。対象は半導体、電子部品、電池、...